二氯硅烷

二氯硅烷,缩写DCS,是一种无机化合物,化学式为H2SiCl2。
二氯硅烷可由硅烷和氯化氢按化学计量比在三氯化铝催化剂的存在下反应制备:
它也可以利用三氯硅烷来制备:
- 2 SiHCl3 ⇔ SiCl4 + SiH2Cl2
单词 | dichlorosilane |
释义 |
dichlorosilane
英汉-汉英词典
二氯甲硅烷
词组 | 习惯用语
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dichlorosilane n. 二氯甲硅烷,二氯矽烷 dimethyl dichlorosilane 二甲基二氯硅烷 diphenyl dichlorosilane 二苯基二氯硅烷 网络短语:Methyl dichlorosilane 甲基二氯硅烷 l dichlorosilane 二苯基二氯硅烷 cyclopentamethylene dichlorosilane 环五亚甲基二氯硅烷 Hexenylmethyl dichlorosilane 己烯基甲基二氯硅烷 Dichlorosilane A 二氯硅甲烷 dimethyl l dichlorosilane 二甲基二氯硅烷 diphenyl l dichlorosilane 二苯基二氯硅烷 5-Hexenylmethyl dichlorosilane 己烯基甲基二氯硅烷
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二氯硅烷![]() 二氯硅烷,缩写DCS,是一种无机化合物,化学式为H2SiCl2。 二氯硅烷可由硅烷和氯化氢按化学计量比在三氯化铝催化剂的存在下反应制备: 它也可以利用三氯硅烷来制备:
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Dichlorosilane 二氯硅烷![]() ![]() Dichlorosilane, or DCS as it is commonly known, is a chemical compound with the formula H2SiCl2. In its major use, it is mixed with ammonia (NH3) in LPCVD chambers to grow silicon nitride in semiconductor processing. A higher concentration of DCS:NH3 (i.e. 16:1), usually results in lower stress nitride films. |
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