被测器件
被测器件(英语:device under test,DUT)或被测装置,又称在测单元或被测部件(unit under test,UUT),常用于表示正处于测试阶段的工业产品。
在半导体测试中,DUT表示晶圆或最终封装部件上的特定管芯小片。利用连接系统将封装部件连接到手动或自动测试设备(ATE),ATE会为其施加电源,提供模拟信号,然后测量和估计器件得到的输出,以这种方式测定特定被测器件的好坏。
对于晶圆来说,用户需要将ATE用一组显微针连接到一个个独立的DUT(晶圆小片)。若晶圆已被切割成小片并封装,我们可以用ZIF插座(零插拔力插座)将ATE连接到DUT(管壳)上。