薄膜晶体管 Thin-film transistor
薄膜晶体管(英语:Thin-Film Transistor,缩写:TFT)是场效应晶体管的种类之一,大略的制作方式是在基板上沉积各种不同的薄膜,如半导体主动层、介电质和金属电极层。
TFT是在基板(如是应用在液晶显示器,则基板大多使用玻璃)上沉积一层薄膜当做信道区。
大部份的TFT是使用氢化非晶硅(a-Si:H)当主要材料,因为它的能阶小於单晶硅(Eg = 1.12eV),也因为使用a-Si:H当主要材料,所以TFT大多不是透明的。另外,TFT常在介电、电极及内部接线使用铟锡氧化物(ITO),ITO则是透明的材料。