三氧化碲〔TeO₃〕是一种无机化合物。碲的化合价为+6。三氧化碲有两种形式，一种是红色的α-TeO₃，一种是灰色的β-TeO₃。

α-TeO₃的结构与三氟化铁相似，由加热碲酸至300°C制得。α-TeO₃与氧气和硫酸在密封容器中加热，可得β-TeO₃。

α-TeO₃受热分解，首先生成五氧化二碲，而后进一步分解成二氧化碲。