光刻胶 Photoresist
(重定向自Positive resist)
光刻胶(英语:photoresist),亦称为光阻或光阻剂,是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,是光刻工艺中的关键材料,主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。
单词 | Positive resist |
释义 |
Positive resist
中文百科
光刻胶 Photoresist(重定向自Positive resist)
光刻胶(英语:photoresist),亦称为光阻或光阻剂,是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,是光刻工艺中的关键材料,主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。
英语百科
Photoresist 光刻胶(重定向自Positive resist)
![]() ![]() A photoresist is a light-sensitive material used in several industrial processes, such as photolithography and photoengraving, to form a patterned coating on a surface. |
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