光刻 Photolithography




光刻(英语:photolithography)是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构,然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆,还可以是其他金属层、介质层,例如玻璃、SOS中的蓝宝石。
单词 | photolithographic |
释义 |
photolithographic
|
随便看 |
|
英汉网英语在线翻译词典收录了3779314条英语词汇在线翻译词条,基本涵盖了全部常用英语词汇的中英文双语翻译及用法,是英语学习的有利工具。