多闸极晶体管 Multigate device


多闸极晶体管指的是集合了多个闸极于一体的金氧半晶体管(MOSFET)。可以用一个电极来同时控制多闸极,亦可用多个电极单独控制各闸极。后者有时又被叫做Multiple Independent Gate Field Effect Transistor(MIGFET)。多闸极晶体管被提出为的是克服半导体工业里摩尔定律(Moore's law)发展至今体积的缩小已经到达物理极限的难题。
相当多的公司和机构已经在积极发展多闸极晶体管,其中包含了超微半导体,日立, IBM, 英飞凌,英特尔,台积电,飞思卡尔,加州大学伯克利分校等等,而ITRS预估多闸极晶体管将是32奈米以下重要的奠基石。实现上主要的障碍来自于制造技术,不论是平面和非平面的设计都面临挑战,特别是显影以及图案化技术。其他伴随发展的包含了信道应力、硅上绝缘以及高介电质/金属闸极材料。